欧姆龙E5EN-Q303TD-FLK-N用户手册

晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式E5EN-Q303TD-FLK-N手册。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2mE5EN-Q303TD-FLK-N尺寸：48×48mm，端子台型。
种类：控制输出点型（电源ACDC24V用）。
外壳颜色：黑色。
控制输出：线性电压输出E5EN-Q303TD-FLK-N手册。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：2点。
加热器断线、 R故障检测功能：--。
事件输入点数：--。
传送输出：可传送输出（使用控制输出）。
通信：--。
新增程序型。
采用大256段程序容量，较高性价比的新型液晶，
可视角度、对比度得以提升。
可设定多8个程序（模式）×32段（步）的程序。
高分辨率的5位显示可显示0.0°C（实现了48×48mm的小尺寸）。
高速采样周期60ms。
全部机型完整多种（能够热电偶Pt模拟输入切换），
台机器支持多种传感器。
增加PVV状态显示功能，方便查看温控器的状态
（自动手动、RUNREET、报功能（ANDOR逻辑和）E5EN-Q303TD-FLK-N手册。
设定中轻松设定能够执行柔性的接点输出的程序设定。
控制输出ONOFF次数计数功能可预测温控器内部继电器的故障。50～00mA直接开关、达到国际标准的凹槽型。
动作模式备有遮光时ON入光时ON（可切换型）。
响应频率为kz的高速响应。
入光指示灯明显，便于进行动作确认。
电源电压为DC5～24V的广范围。
备有遮光时入光指示灯亮灯型。
8种形状、种类丰富。
标准采用柔韧性佳的耐曲折导线。
形状：L型。
检测方式：对射型（凹槽型）。
连接方式：接插件型（4极）。
检测距离：5mm(凹槽宽度)。
动作模式：入光时ON。
指示灯模式：入光时亮灯。
输出形式：NPN输出。尺寸：96×96mm。
本体：端子台型，温度输入型。
种类：控制输出点型（电源AC00～240V用）。
外壳颜色：黑色。
控制输出：电压输出（R驱动用）。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：3点。
加热器用断线、R故障、加热器过电流检测功能E用电源：E用电源。
事件输入点数：--。
传送输出：--。
通信：--。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级＆功能性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升。
增加PVV状态显示功能，方便查看温控器的状态
（自动手动、RUNTOP、报警发生），可交互显示PVVE5EN-Q303TD-FLK-N用户手册E5EN-Q303TD-FLK-N用户手册。
增加控制输出ONOFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示，可同时显示易于理解的当前值目标值操作量。
增加了PF键，分配自动手动、RUNTOP等，可实现一键操作。